晶圓盒清洗機 芯矽科技
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產地 蘇州市工業園區江浦路41號
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/14 15:35:17
- 訪問次數 29
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非標定制 | 根據客戶需求定制 |
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在半導體生產中,晶圓盒(FOUP/SMIF Pod)作為晶圓傳輸的核心容器,其潔凈度直接影響良率與工藝穩定性。晶圓盒清洗機通過化學濕法、超聲波、兆聲波或等離子技術,高效去除殘留光刻膠、氧化物、顆粒及有機物,確保晶圓盒符合ISO 14644潔凈標準。
核心特點,彰顯技術實力:
納米級潔凈控制
采用多級過濾系統(0.1μm~1μm濾芯),配合化學液循環沖洗,清除微小顆粒與污染物。
支持SC-1(堿性)、SC-2(酸性)或定制配方,精準匹配不同工藝殘留。
智能自動化,提升效率
全自動上下料系統,兼容MES接口,實現清洗-干燥-檢測一體化流程。
多腔室設計,支持并行處理,縮短周期至15分鐘/批次。
溫和工藝,保護精密結構
兆聲波技術(800kHz~1MHz):均勻空化剝離,避免機械損傷。
等離子輔助(O?/Ar):高效去除有機物,無液體殘留,適合怕濕潤材料。
綠色節能,降低成本
化學液回收系統(如DI水循環+過濾),減少耗材消耗。
低溫干燥(IPA置換或真空烘干),兼容塑料/金屬材質晶圓盒。
應用價值,賦能半導體生態:
提升良率:避免晶圓盒污染導致的劃痕、氧化或粒子吸附。
延長壽命:清潔保障晶圓盒重復使用次數(>500次)。
適配制程:滿足EUV、3D封裝等對納米級潔凈度的嚴苛需求。
技術為刃,潔凈為盾——晶圓盒清洗機是半導體產業鏈中的關鍵核心,以精準、高效、可靠的性能,守護每一片晶圓的旅程。