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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備> 晶圓盒清洗機 芯矽科技

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晶圓盒清洗機 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產地 蘇州市工業園區江浦路41號
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/7/14 15:35:17
  • 訪問次數 29

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

非標定制 根據客戶需求定制

在半導體生產中,晶圓盒(FOUP/SMIF Pod)作為晶圓傳輸的核心容器,其潔凈度直接影響良率與工藝穩定性。晶圓盒清洗機通過化學濕法、超聲波、兆聲波或等離子技術,高效去除殘留光刻膠、氧化物、顆粒及有機物,確保晶圓盒符合ISO 14644潔凈標準。

核心特點,彰顯技術實力:

納米級潔凈控制

采用多級過濾系統(0.1μm~1μm濾芯),配合化學液循環沖洗,清除微小顆粒與污染物。

支持SC-1(堿性)、SC-2(酸性)或定制配方,精準匹配不同工藝殘留。

智能自動化,提升效率

全自動上下料系統,兼容MES接口,實現清洗-干燥-檢測一體化流程。

多腔室設計,支持并行處理,縮短周期至15分鐘/批次。

溫和工藝,保護精密結構

兆聲波技術(800kHz~1MHz):均勻空化剝離,避免機械損傷。

等離子輔助(O?/Ar):高效去除有機物,無液體殘留,適合怕濕潤材料。

綠色節能,降低成本

化學液回收系統(如DI水循環+過濾),減少耗材消耗。

低溫干燥(IPA置換或真空烘干),兼容塑料/金屬材質晶圓盒。

應用價值,賦能半導體生態:

提升良率:避免晶圓盒污染導致的劃痕、氧化或粒子吸附。

延長壽命:清潔保障晶圓盒重復使用次數(>500次)。

適配制程:滿足EUV、3D封裝等對納米級潔凈度的嚴苛需求。

技術為刃,潔凈為盾——晶圓盒清洗機是半導體產業鏈中的關鍵核心,以精準、高效、可靠的性能,守護每一片晶圓的旅程。




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