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晶圓盒清洗機(jī) 芯矽科技

參考價(jià) 10000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/7/14 15:35:17
  • 訪問次數(shù) 32

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級(jí)到全自動(dòng)量產(chǎn)級(jí)槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動(dòng)晶圓化學(xué)鍍?cè)O(shè)備,12寸全自動(dòng)爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲(chǔ),中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

非標(biāo)定制 根據(jù)客戶需求定制

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,晶圓盒(FOUP/SMIF Pod)作為晶圓傳輸?shù)暮诵娜萜鳎錆崈舳戎苯佑绊懥悸逝c工藝穩(wěn)定性。晶圓盒清洗機(jī)通過化學(xué)濕法、超聲波、兆聲波或等離子技術(shù),高效去除殘留光刻膠、氧化物、顆粒及有機(jī)物,確保晶圓盒符合ISO 14644潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

核心特點(diǎn),彰顯技術(shù)實(shí)力:

納米級(jí)潔凈控制

采用多級(jí)過濾系統(tǒng)(0.1μm~1μm濾芯),配合化學(xué)液循環(huán)沖洗,清除微小顆粒與污染物。

支持SC-1(堿性)、SC-2(酸性)或定制配方,精準(zhǔn)匹配不同工藝殘留。

智能自動(dòng)化,提升效率

全自動(dòng)上下料系統(tǒng),兼容MES接口,實(shí)現(xiàn)清洗-干燥-檢測(cè)一體化流程。

多腔室設(shè)計(jì),支持并行處理,縮短周期至15分鐘/批次。

溫和工藝,保護(hù)精密結(jié)構(gòu)

兆聲波技術(shù)(800kHz~1MHz):均勻空化剝離,避免機(jī)械損傷。

等離子輔助(O?/Ar):高效去除有機(jī)物,無液體殘留,適合怕濕潤材料。

綠色節(jié)能,降低成本

化學(xué)液回收系統(tǒng)(如DI水循環(huán)+過濾),減少耗材消耗。

低溫干燥(IPA置換或真空烘干),兼容塑料/金屬材質(zhì)晶圓盒。

應(yīng)用價(jià)值,賦能半導(dǎo)體生態(tài):

提升良率:避免晶圓盒污染導(dǎo)致的劃痕、氧化或粒子吸附。

延長壽命:清潔保障晶圓盒重復(fù)使用次數(shù)(>500次)。

適配制程:滿足EUV、3D封裝等對(duì)納米級(jí)潔凈度的嚴(yán)苛需求。

技術(shù)為刃,潔凈為盾——晶圓盒清洗機(jī)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵核心,以精準(zhǔn)、高效、可靠的性能,守護(hù)每一片晶圓的旅程。




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