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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備> 全自動去膠清洗機 芯矽科技

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全自動去膠清洗機 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產地 蘇州市工業園區江浦路41號
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/7/14 16:09:11
  • 訪問次數 28

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

非標定制 根據客戶需求定制

全自動去膠清洗機是用于去除半導體晶圓、光學玻璃、鋰電池極片等材料表面光刻膠、殘留化學品或污染物的自動化設備。其核心功能包括:

高效去膠:通過化學腐蝕、超聲波振動、等離子體處理或高溫分解等方式,快速剝離光刻膠(如正膠、負膠)及固化污染物。

精密清洗:配合溶劑(如NMP、DMF)、酸性/堿性溶液或純水,清除微小顆粒、金屬離子殘留,確保表面潔凈度達到納米級。

全流程自動化:實現上料、清洗、干燥、下料等環節無人化操作,兼容MES系統對接,支持工藝參數追溯。

技術原理與分類

去膠技術類型

化學法:利用強氧化劑(如硫酸、過氧化氫)或有機溶劑溶解膠層,適用于正性光刻膠。

超聲波法:通過高頻振動空化效應剝離膠體,適合復雜圖案或高黏附力殘留。

等離子體法:氧離子轟擊表面,分解有機物,用于去除頑固殘膠或干膜。

熱分解法:高溫(300-500℃)裂解膠體分子,常用于硬質材料(如石英、陶瓷)。

清洗模式

噴淋式:噴頭均勻噴灑藥液,適用于大面積平面清洗。

浸泡式:槽式循環浸沒清洗,適合高深寬比結構(如TSV孔隙)。

刷擦式:旋轉刷頭配合化學液,清除邊緣或縫隙殘留。

干燥技術

離心干燥、熱風干燥、真空烘干或IPA(異丙醇)置換干燥,防止水痕或二次污染。

設備架構與關鍵模塊

進料系統:

自動加載晶圓盒(Cassette)或單片輸送,支持12英寸/8英寸晶圓或定制尺寸。

視定位系統(CCD/AI視覺)校準晶圓位置,避免偏移損傷。

清洗腔體:

多槽分區設計(預洗→主洗→漂洗→干燥),獨立溫控(±1℃)與液體循環過濾(0.1μm級顆粒過濾)。

耐腐蝕材料(PFA、PTFE、石英)腔體,適應強酸/堿環境。

藥液管理:

自動配比系統:精確調配化學濃度(如SC1液、DHF液),實時監測pH/ORP值。

廢液處理:中和反應+蒸餾回收,降低環保成本。

控制系統:

人機界面(HMI)設定參數(時間、溫度、流速),支持Recipe配方存儲與調用。

物聯網(IoT)遠程監控,故障報警與維護提示。

應用場景與行業價值

半導體制造:

光刻后堅膜去除(正膠剝離)、蝕刻后殘留物清洗、封裝前界面預處理。

提升芯片良率,避免因膠殘留導致電性能失效或分層缺陷。

光學玻璃加工:

去除AR/ASML鍍膜前的光刻膠,確保光學級表面平整度(Ra<0.5nm)。

新能源領域:

鋰電池極片涂布后殘膠清洗,提升電池能量密度與安全性。

光伏硅片切割后漿料去除,減少EL測試中的隱裂風險。



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