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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備> 硅酸表面蝕刻機 蝕刻加工的專用設備

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硅酸表面蝕刻機 蝕刻加工的專用設備

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產地 工業園區江浦路41號
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/4/15 16:53:47
  • 訪問次數 201

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

硅酸表面蝕刻機是一種用于在半導體制造過程中對硅片進行表面蝕刻的設備,以下是其產品簡介:

設備原理:

通常采用化學蝕刻或等離子蝕刻的原理。化學蝕刻是利用化學試劑與硅片表面發生化學反應,從而去除硅片表面的材料;等離子蝕刻則是利用等離子體產生的活性粒子轟擊硅片表面,使硅原子從表面剝離。

主要特點:

高精度:能夠實現納米級別的蝕刻精度,滿足現代半導體器件對精細結構的需求。例如,在集成電路制造中,可精確蝕刻出微小的電路圖案和結構,確保芯片的性能和功能。

靈活性:可以通過調整蝕刻參數(如蝕刻時間、溶液濃度、溫度、氣體流量等)來控制蝕刻速率和深度,實現不同的蝕刻效果,以適應不同工藝和產品的要求。

兼容性:可以與其他半導體制造設備集成,形成完整的生產線,便于實現自動化生產和流程管控。

自動化程度高:現代硅酸表面蝕刻機通常配備有自動化控制系統,能夠實現全自動化的蝕刻過程,減少人工干預,提高生產效率和產品質量的穩定性。







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