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03-07FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級精度膜厚儀簡介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統,光學膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在200-1700nm光譜范圍內提供各種光學配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學膜厚儀模塊化厚度測繪系統平臺,集成了先進的光學、電子和機械模塊,用于表征圖案化薄膜光學參數。典型案例包括(但不限于)微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學模塊功能強大,可測量的光斑尺寸小至幾微米。真2025
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