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光學(xué)輪廓儀應(yīng)該怎么用

來源:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司   2023年03月16日 13:23  
  光學(xué)輪廓儀是一種全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。操作員只需安裝被測(cè)工件,在驗(yàn)證軟件上設(shè)置掃描的開始和結(jié)束位置,點(diǎn)擊“開始”按鈕,測(cè)量針就會(huì)自動(dòng)接觸工件表面并根據(jù)設(shè)置的位置進(jìn)行掃描;在輪廓掃描過程中,軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線;掃描后,操作員可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線,以獲得直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數(shù)。
 

 

  光學(xué)輪廓儀應(yīng)該怎么用
  輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
 
  輪廓儀的優(yōu)勢(shì):
  1、美國(guó)硅谷研發(fā)的合心技術(shù)和系統(tǒng)軟件;
  2、關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等品牌;
  3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng);
  4、Nikon干涉物鏡;
  5、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件;
  6、TMC光學(xué)隔振臺(tái);
  7、測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到先進(jìn)水平。

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