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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>> KS-S300-ST單片濕法去膠機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)KS-S300-ST
品牌芯源
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地沈陽(yáng)市
更新時(shí)間：2024-09-05 16:23:21瀏覽次數(shù)：466次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
用于先進(jìn)封裝工藝過(guò)程中的晶圓去膠制程和金屬剝離制程。設(shè)備可搭載槽式浸泡單元、高壓噴淋或二流體噴淋去膠單元、清洗及干燥單元等工藝模塊，滿足各種品牌型號(hào)、各種厚度的正負(fù)性光阻去除及金屬剝離等工藝。具有藥液回收循環(huán)過(guò)濾再使用、金屬高效率回收等功能。
2. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.槽式浸泡與單片旋轉(zhuǎn)噴淋方式相結(jié)合，提高產(chǎn)能
2.高壓或二流體噴淋可除去光刻膠
3.基片干進(jìn)濕傳干出
4.去膠液回收、循環(huán)過(guò)濾再使用，降低用戶成本
5.貴重金屬回收
3. 應(yīng)用域
●封裝域中的光阻去除工藝，掩膜版清洗等
●OLED 域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝
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