TSC-150C/200C CMP后清洗機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 特思迪
- 型號(hào) TSC-150C/200C
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/6 11:22:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 337
產(chǎn)品標(biāo)簽
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該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，采用連線式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進(jìn)干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。
產(chǎn)品特點(diǎn)
全自動(dòng)系統(tǒng)
皮帶傳動(dòng)， cassette in/out 干進(jìn)干出
PLC控制系統(tǒng)
觸摸屏操作
清洗工藝
預(yù)清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮?dú)獯蹈?/span>
刷子類型
PVA 刷, 雙面刷洗
性能參數(shù)
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)