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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備>customized 硅芯清洗機

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customized 硅芯清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發


1. 產品概述:

英思特硅芯清洗機是專門用于硅芯清洗的設備,通過一系列特定的清洗工藝和技術,有效去除硅芯表面的雜質、污垢、氧化物等,以達到硅芯在半導體制造等領域應用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統、傳輸系統、電氣控制系統等部分組成,各部分協同工作,實現對硅芯的自動化清洗流程。

2. 設備應用

· 半導體產業:在半導體芯片制造中,硅芯是重要的基礎材料。硅芯清洗機用于清洗硅芯,為后續的外延生長、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面,確保芯片的質量和性能。例如,在制造高純度的半導體器件時,硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學性能和可靠性。

· 光伏產業:用于光伏電池生產中硅芯的清洗,提高硅芯的表面質量,從而提升光伏電池的轉換效率和穩定性。

 

3. 設備特點

1.產品用途:適用于2"~8"硅芯清洗

2.設備介紹:本設備為柜體式腐蝕機,整臺設備均采用進口件.

基本材質:箱體材質:德國茲白色聚丙烯(PP)

門板材質:德國透明聚氯乙烯(PVC)

腐蝕槽材質:德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)

清洗槽材質:德國自然色聚丙烯板(NPP)

腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器

清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置

整機外形美觀,實用

3.設備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)

4.設備重量:8000Kg(約)

5,設備控制方式: PLC結合操作觸摸屏控制

6.設備動力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制

整機額定電功率(參考):20KW

電氣性能:E級,并有良好的接地

水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25

DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25

氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)

排廢:DN50

排廢酸:DN40

排風:DN200

環境要求:空氣溫度5-40°C;相對濕度:80

 




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