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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法清洗設備>customized 全自動硅料清洗機

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customized 全自動硅料清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










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1. 產品概述:

英思特全自動硅料清洗機是一種高度自動化的設備,專門用于硅料的清洗處理。它通過一系列精確設計的工藝流程和先進的技術,能夠高效地去除硅料表面的雜質、污垢和污染物,以滿足半導體制造等對硅料高純度的要求。該清洗機通常由多個功能模塊組成,包括上料系統、清洗槽、漂洗槽、干燥系統等,各部分協同工作,實現硅料從進料到出料的全自動化清洗過程。

 

2. 設備應用

· 半導體產業:在半導體芯片制造的前端工序中,對硅晶圓等硅料進行清洗,為后續的光刻、刻蝕、鍍膜等工藝提供潔凈的硅料表面,確保芯片的性能和質量。例如,在制造集成電路的過程中,硅料表面的任何微小雜質都可能導致芯片缺陷,因此需要高精度的清洗。

· 光伏產業:用于光伏電池生產中硅片的清洗,去除硅片表面的雜質和污染物,提高硅片的光電轉換效率。比如,高效太陽能電池的生產對硅片的潔凈度要求很高,全自動硅料清洗機能夠滿足這一需求。

 

3. 設備特點

· 高度自動化:從上料到清洗、漂洗、干燥再到下料,整個過程實現全自動化控制,無需人工干預,大大提高了生產效率,降低了人工成本,同時也減少了人為因素對清洗質量的影響。

· 定制化設計:可根據客戶的具體需求和生產工藝進行定制化設計,滿足不同規格、不同類型硅料的清洗要求,以及與不同生產設備和生產線的無縫對接。

· 高效清洗能力:采用先進的清洗技術和優化的清洗工藝,能夠快速、有效地去除硅料表面的各種雜質,確保清洗后的硅料表面潔凈度達到很高標準,為后續的生產工藝提供優質的基礎。

· 精確的工藝控制:配備高精度的傳感器和先進的控制系統,能夠對清洗過程中的各項參數(如溫度、時間、溶液濃度等)進行精確控制和實時監測,保證清洗工藝的穩定性和一致性。

· 可靠的質量和穩定性:選用優質的材料和零部件,經過嚴格的質量檢測和驗證,確保設備具有良好的耐用性和穩定性,能夠在長時間的連續工作中保持穩定的性能和可靠的運行。

· 節能環保:在設計和制造過程中注重節能環保,采用高效的能源利用方式和環保的清洗溶液處理方法,降低設備運行對環境的影響。

4. 產品參數(部分為例

以下參數僅供參考,實際參數可能因定制化需求和設備型號而有所不同。

· 清洗槽數量:通常有多個清洗槽,如 3 - 5 個,分別用于不同的清洗步驟(如預清洗、主清洗、精清洗等)。

· 清洗方式:可包括浸泡式清洗、噴淋式清洗、超聲波清洗等多種方式相結合。

· 處理能力:每小時能夠處理一定量的硅料,例如 50 - 200 千克 / 小時。

· 溫度控制范圍:清洗槽的溫度可在一定范圍內精確控制,如 30 - 80℃。

· 溶液循環系統:具備高效的溶液循環和過濾系統,確保清洗溶液的清潔度和有效性。

· 設備尺寸:根據生產場地和需求,設備的外形尺寸可能有所不同,一般長度在 2 - 5 米,寬度在 1 - 2 米,高度在 1.5 - 2.5 米。

· 電源要求:通常需要三相交流電,電壓如 380V,頻率 50Hz,功率根據設備型號和配置而定,一般在 10 - 30kW 之間。

 






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