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什么是全自動襯底去除清洗機

來源:蘇州芯矽電子科技有限公司   2025年03月18日 15:13  

全自動襯底去除清洗機是一種專門用于去除襯底表面污染物、顆粒、有機物等雜質的自動化設備。以下是關于這種設備的詳細介紹:

工作原理

物理作用:通過高壓噴淋系統,將清洗液以較高的壓力噴射到襯底表面,利用液體的沖擊力去除表面的顆粒和雜質。同時,設備可能配備超聲波清洗裝置,利用超聲波在液體中產生的空化效應,使污垢和雜質從襯底表面剝離。此外,刷洗單元通過旋轉或擺動的刷子對襯底表面進行刷洗,進一步去除頑固的污染物。

化學作用:清洗機使用特定的化學試劑與襯底表面的污染物發生反應,將其溶解或分解,使其更容易被清洗液帶走。不同的污染物需要選擇不同的化學試劑和清洗工藝。

主要組成部分

清洗腔體:是襯底放置和清洗的主要場所,通常采用耐腐蝕材料制成,以適應各種化學試劑的使用。腔體內有噴頭、刷子等清洗工具的安裝位置,并且設計要保證清洗液能夠充分接觸到襯底的各個部位。

清洗系統:包括清洗液的供應系統、循環系統和排放系統。供應系統負責提供足夠的清洗液,并控制清洗液的溫度、壓力和流量;循環系統使清洗液在腔體內循環流動,提高清洗效果并節約清洗液;排放系統則將使用過的清洗液排出設備外,進行處理或回收。

傳送系統:一般由機械臂、傳送帶或旋轉盤等組成,用于將襯底準確地送入和送出清洗腔體,實現自動化的上下料操作,提高生產效率并減少人工干預。

控制系統:采用自動化控制技術,通過觸摸屏、按鈕或計算機界面進行操作。可以設置清洗參數,如清洗時間、溫度、壓力、刷洗速度等,并實時監控設備的運行狀態,確保清洗過程的穩定性和一致性。

應用領域

半導體制造:在半導體芯片制造過程中,襯底的清潔度對芯片的性能和質量至關重要。全自動襯底去除清洗機可用于去除硅片、化合物半導體等襯底表面的氧化層、殘留光刻膠、顆粒等污染物,保證芯片制造的高精度和高可靠性。

光學器件制造:光學鏡片、濾光片等光學器件在加工過程中需要保持表面質量。該清洗機可以有效去除光學襯底表面的指紋、油污、灰塵等雜質,提高光學器件的透光率和成像質量。

電子行業:對于印刷電路板(PCB)、液晶顯示屏(LCD)等電子產品的制造,襯底的清潔處理也是關鍵工序之一。清洗機能夠去除 PCB 板和 LCD 玻璃基板上的污漬、氧化層等,提高電子產品的性能和穩定性。

其他領域:在航空航天、汽車制造、精密機械等行業,對于一些關鍵部件的金屬或陶瓷襯底的表面處理,也可能需要使用全自動襯底去除清洗機來去除油污、銹跡、涂層等,以滿足高精度加工和高性能的要求。

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