| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池 |
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超高真空電子束蒸鍍設備介紹
超高真空環境的特徵為其真空壓力低於10-8至10-12 Torr，在化學物理和工程領域十分常見。超高真空環境對於科學研究非常重要，因為實驗通常要求，在整個實驗過程中，表面應保持無污染狀態和使用較低能量的電子和離子的實驗技術的使用，而不會受到氣相散射的過度干擾。在這樣超高真空環境下使用電子束蒸鍍，SYSKEY可以提供高品質的薄膜。
針對超高真空和高溫加熱設計基板旋轉鍍膜機構，使用陶瓷培林旋轉，並在內部做水冷循環來保護機構以確保長時間運轉的穩定性。
| 超高真空電子束蒸鍍設備應用領域 | 腔體 |
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| 配置和優點 | 選件 |
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