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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>其它分析儀器>其它通用分析> 多層膜磁控濺鍍設(shè)備

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多層膜磁控濺鍍設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/7/10 13:14:40
  • 訪問次數(shù) 720

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團隊,專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池

多層膜磁控濺鍍設(shè)備的結(jié)構(gòu)廣泛用於各個領(lǐng)域,而對於精密系統(tǒng)則需要更嚴(yán)格的規(guī)格,包括光、聲音和電子元件。在單一材料薄膜無法滿足所需規(guī)格的精密系統(tǒng)中,高質(zhì)量多層膜的作用變得越來越重要。因此,新材料的開發(fā)和薄膜的精確控制製程已成為當(dāng)前多層薄膜研究的重要方向。

SYSKEY的多層膜磁控濺鍍設(shè)備系統(tǒng)擁有基板公自轉(zhuǎn)機構(gòu),可實現(xiàn)精準(zhǔn)的多層膜結(jié)構(gòu)並可以一次批量生產(chǎn)。

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應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 半導(dǎo)體類

  • 納米科技

  • 產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量檢查

  • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究

  • 太陽能電池

  • 光學(xué)研究

  • 材料研究

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和

    其應(yīng)用

  • 寬大的前開式門,並有兩個視窗和視窗

    遮版用於觀察基材和濺鍍源

  • 具有顯示功能的全領(lǐng)域真空計和用於

    壓力控制的Baratron真空計

  • 腔體的極限真空度約為10-8Torr



配置和優(yōu)點選件
  • 客製化基板尺寸,最大直徑可達12寸晶圓

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%

  • 磁控濺鍍源(最多6個源),具有多

    種可選的靶材尺寸

  • 射頻、直流或脈衝直流,分別用於

    非導(dǎo)電,導(dǎo)電靶材

  • 具有順序操作或共沉積的多個濺鍍

  • 精準(zhǔn)流量控制器(最多4條氣體管線)

  • 基板可加熱到600°C

  • 可調(diào)節(jié)的基材到靶材之間距

  • 每個濺鍍源和基板均安裝遮板

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合

    在一起

  • 結(jié)合離子源、熱蒸發(fā)源、電子束...。

  • 基板可用射頻或直流偏壓

  • 膜厚監(jiān)測儀

  • 射頻等離子清潔用於基材

  • OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用端口。




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