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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>原子層沉積設備> NLD-4000(ICPM)PEALD系統

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NLD-4000(ICPM)PEALD系統

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產地 美國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/4/28 9:17:45
  • 訪問次數 5635

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池,制藥/生物制藥

原子層沉積技術

NLD-4000(ICPM)PEALD系統概述:原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術,具有廣泛的應用。ALD原子層沉積可以滿足準確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供優異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

NLD-4000(ICPM)PEALD系統特點:NLD-4000(ICPM)是一款緊湊型獨立的PC計算機控制的ALD原子層沉積系統,帶Labview軟件,具備四級密碼控制的用戶授權保護功能。系統為全自動的安全互鎖設計,并提供了強大的靈活性,可以用于沉積多種薄膜(如:AL2O3, AlN, TiN, ZrO2, LaO2, HfO2,等等)。應用領域包含半導體、光伏、MEMS等。NLD-4000(ICPM)系統提供12”的鋁質反應腔體,帶有加熱腔壁和氣動升降頂蓋,非常方便腔體的訪問和清潔。該系統擁有一個載氣艙包含多達7個50ml的加熱汽缸,用于前驅體以及反應物,同時帶有N2或者Ar作為運載氣體的快脈沖加熱傳輸閥。

NLD-4000(ICPM)選配:NLD-4000(ICPM)系統的選配項包含自動L/UL上下載(用于6”基片),臭氧發生器,等等。

NLD-4000(ICPM)應用:

  • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc
  • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..
  • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應用.
  • Nano laminates納米復合材料


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