成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄 中国色 片,一级黄 色蝶 片,一级黄色 片生活片

產品推薦:氣相|液相|光譜|質譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養箱


化工儀器網>技術中心>工作原理>正文

歡迎聯系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

【高斯摩分享】什么是ALD設備?

來源:高斯摩(成都)國際貿易有限公司   2025年06月05日 17:14  

ALD(沉積)設備是利用原子層沉積形成納米級薄膜的設備。

由于薄膜是按原子逐層形成的,因此具有精確的膜厚可控性和精確的階梯涂布性能。但缺點是成膜速度慢。

ALD成膜中使用了許多有機金屬材料,但其中許多材料對人體有負面影響,并且高度易燃。處理需要專業知識和極其小心。

ALD設備的應用

ALD設備常用于半導體生產工藝、FPD生產工藝等。近年來,這項技術已成為DRAM生產中的一部分。以下是使用ALD裝置形成的薄膜的例子。

1.柵極氧化膜

形成FET等晶體管時必需的具有高介電常數的薄膜。主要采用Al2O3、ZrO2等氧化膜。

2.阻隔膜

有時將通過ALD形成的氮化膜稱為阻擋膜。用于防止Cu布線材料等過渡金屬的擴散,防止布線周圍的金屬污染和絕緣劣化。

3. 防傳播膜

防止水分滲透到樹脂基材和有機EL面板的薄膜。通過防止異物滲透,有助于保持質量和延長使用壽命。

如上所述,它多用于工業,但也可以應用于生物醫學行業。典型的例子包括人造關節和人造骨骼,其中在人造金屬骨骼上形成生物相容性膜以防止排斥。它還用于包裹藥物以調整其功效。

ALD設備原理

ALD設備配備有不銹鋼或鋁制成的真空室,由原料氣體供給部分、排出原料氣體的排氣部分以及控制過程的控制單元組成。

充當前體的有機金屬材料稱為前體。首先,將前體引入真空室并吸附到基板的表面上。之后,將腔室抽真空一次以去除多余的前驅體,然后氧化和氮化以形成薄膜。

一個原子層在一個循環中形成,并且可以通過多次重復該循環來沉積薄膜。由于膜厚根據循環次數而變化,因此具有膜厚控制性高的特點。吹掃工藝在ALD成膜過程中也非常重要,因為腔室中殘留的不同前驅體和氧化源會對薄膜質量產生負面影響。

為了提高沉積效率,可以加熱基底或等離子體輔助基底。加熱法稱為熱ALD,等離子體輔助法稱為等離子體ALD。

免責聲明

  • 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
企業未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
主站蜘蛛池模板: 日本理伦片午夜理伦片| 市长大粗了我受不了了| 97色婷婷成人综合在线观看| A片人人澡C片人人人妻付费| 亚洲成色WWW久久网站夜月| 禁伦小说500篇| 亚洲毛片无码专区亚洲A片| 大香蕉av网站在线| 狠狠干美女婷婷综合| 亚洲第一色网| 精品视频在线一区| 久久青草在线视频精品| 亚洲精品久久久一区| 办公室荡乳欲伦交换BD电影| 乱码1乱码2美美哒| 久久毛片免费看一区二区三区| A级裸毛片| 欧美专区精品国产一区电影| 日本亚洲一区二区三区| 亚洲欧美久久综合| 日韩中文字幕一区| 特级做A爰片毛片免费看无码| 人妻献身系列第54部| 亚洲精品久久99久久一二三区| 亚洲国产第一区二区三区| 性欧美viedo高清| 男人J桶女人P视频无遮挡网站| 韩漫免费观看漫画首页入口| 国产手机精品一区二区| 欧美国产日韩免费| 人人爽久久久噜噜噜丁香AV| 国产精品色情国产三级粉红女郎| 久久国产精品99久久久久久老狼| 亚洲精品国产精品国自产小说| 精品欧美一区二区三区久久久| 免费麻豆国产黄网站在线观看| 午夜av在线香蕉| 男人天堂av电影| 欧美激情一区二区三区四区| 国产三级精品久久久久久| 国语对白男女一级毛片免费|