2025-06-18
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全自動(dòng)離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過(guò)程中提供了更廣泛的選擇，以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面更加注重人性，簡(jiǎn)單智能。
對(duì)于SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射，GVC-1000提供了一個(gè)低成本的解決方案，同時(shí)可以通過(guò)更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。同時(shí)通過(guò)智能的人機(jī)界面精確、簡(jiǎn)單、方便控制儀器，同時(shí)具有估算鍍層厚度，實(shí)時(shí)顯示真空度，濺射電流。設(shè)定濺射時(shí)間。以及靶材的剩余情況。
GVC-1000全自動(dòng)離子濺射儀特點(diǎn)：
1、全自動(dòng)操作，簡(jiǎn)單易用，非常適用鎢燈絲、臺(tái)式掃描電鏡等。
(1)濺射電流自動(dòng)調(diào)整——設(shè)定濺射電流后，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度，從而達(dá)到設(shè)定的濺射電流，調(diào)整時(shí)間＜5s，波動(dòng)范圍＜±5%；無(wú)需按“實(shí)驗(yàn)”鍵調(diào)整濺射電流、無(wú)需操作“進(jìn)氣閥”；
(2)濺射時(shí)間自動(dòng)記憶——同類樣品一次設(shè)定即可；
(3)參數(shù)改變自動(dòng)調(diào)整——濺射過(guò)程中可以隨時(shí)調(diào)整濺射電流和濺射時(shí)長(zhǎng)，系統(tǒng)自動(dòng)計(jì)算疊加，無(wú)需終止濺射過(guò)程；
(4)工作完成自動(dòng)放氣；
(5)樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)1秒完成；
(6)濺射過(guò)程可以利用曲線顯示，清晰直觀。
2、軟硬件互鎖，防誤操作，安全可靠。
(1)真空度高于100Pa，啟動(dòng)真空保護(hù)，無(wú)法濺射；
(2)濺射電流高于50mA，停止濺射過(guò)程；
(3)真空泵工作時(shí)，系統(tǒng)無(wú)法進(jìn)行放氣操作。
3、鍍層均勻，導(dǎo)電性良好。
GVC-1000全自動(dòng)離子濺射儀是專用于掃描電鏡（SEM）的樣品噴金儀器,能夠極為有效的提供樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性,確保恒沉積速率,減少等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷.顯著提供掃描電鏡觀測(cè)結(jié)果。
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