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FSEM AC200-噴金噴碳一體機

2025-06-04

產      地:
暫無
所在地區:
江蘇蘇州市
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u應用簡介

如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質量的樣本成像,樣本需要具有導電性,以避免電荷聚積。如果樣本沒有足夠高的導電性,您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導電層。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法。 這類鍍膜既可以保護樣本,增強電子顯微成像的對比度,又可以作為小規模樣本的透射電鏡載網支撐膜。

u設備概述

FSEM AC200噴金噴碳一體機適用于常規SEM和TEM分析設備是全自動系統,從而使操作變得極為簡便。秉承人體工學設計理念的同時,緊湊的外觀設計和更小的桌面占用面積為您大大節約了實驗室空間。儀器為全閉環真空設計,配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監控運行狀態,保證儀器安全穩定運行。采用高性能旋葉真空泵,快速獲得<1Pa的真空環境,高精度的電源采用恒流控制,鍍膜更純,膜厚更精準,結果重復性更好。

u產品特點

設計美觀,操作簡單,界面友好、一鍵鍍膜

◇ 雙靶位設計,可實現導電金屬或碳涂層

◇ 采用大樣品倉,可進行快速制樣樣品臺可預傾斜及旋轉,旋轉可調

◇ 可直接放置16個標準釘型樣品臺,無需工作人員介入,節省人力和時間

◇ 采用ARM架構,全自動控制,控制精度高,操作簡單

◇ 低電壓,穩定真空環境,可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等

◇ 濺射顆粒可達納米級別,濺射顆粒<5nm制備薄膜致密,適合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控濺射技術,利用平面磁場減少溫度的變化,適用于溫度敏感樣品

◇ 低電壓,穩定真空環境,可適配多種規格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等

◇ 采用脈沖電源技術,利用V型結構,更好的碳繩利用率,制備更薄的導電膜層

◇ 配有多個傳感器實時監控運行狀態,保證儀器使用安全

◇ 長期運行,穩定可靠,無需特殊維護

◇ 具備開關機數據存儲記憶,修復長期應用偏差

◇ 儀器可全自動控制,更方便用戶實現各種自動化控制操作

◇ 軟件遵循GMP規范,方便實現用戶管理,使用記錄等功能

u技術參數

設備型號

FSEM AC200

濺射類型

低壓磁控平面濺射

靶材尺寸

雙靶位靶材,靶材直徑32mm,V型碳繩結構

控制模式

5寸觸摸屏全自動程序控制

真空系統

機械旋葉泵,極限真空<1Pa真空抽速1L/s

真空測量

全量程皮拉尼數字真空計

工作真空

2-8Pa,真空精度可達0.1Pa

樣品臺

可升降傾斜旋轉,可放置16個標準釘型臺,直徑可達100mm

濺射電源

恒流磁控DC濺射電源300-600V,Max50mA控制精度可達1mA

濺射時間

≤600s,控制精度1s

蒸發電源

恒壓脈沖DC蒸發電源0-80A,Max 10V控制精度可達0.1V

脈沖頻率

100ms-1s,具備預熱除氣功能

真空腔室

φ160×120mm

供電要求

200-240VAC 50Hz,功率1500W

外形尺寸

520×360×380mm



u配置清單

序號

名稱

規格

數量

1.

噴金噴碳一體機主機

FSEM AC200

1臺

2.

          濺射靶材金靶

φ32×0.1mm

1個

3.

高純碳繩

φ0.8×1m

1

4.

真空管路

KF16-1.2m

1根

5.

機械真空泵

VRD-4

1臺

6.

合格證、保修卡、說明書、裝箱單

/

1套


u服務承諾

1、產品到達貴公司后,我公司工程師可在貴公司準備好設備所需外部條件(如水、電等)后,負責該設備的安裝、調試、啟動工作,并提供良好的技術支持和售后服務,同時對貴公司使用人員進行設備使用培訓,保證受訓人員能夠獨立、熟練操作設備和完成簡單的維修工作、設備日常維護工作。復雜設備,此項工作在用戶現場進行,簡單設備,此項工作遠程視頻指導進行,具體按照雙方合同條款執行。

2、我公司產品在貴公司負責人驗收合格書上簽字之日起計算免費保修壹年。在免費保修期內產品發生非人為質量問題,我公司為貴公司提供免費維修。如產品在免費保修期外出現故障,維修服務只適當收取人工費與材料成本費,并采取“先維修后付費”的原則

3、我司擁有全國客戶支持中心,通過電話及視頻通話及時幫助全國客戶解答問題,擁有一支訓練有素的工程師隊伍為全國各地的客戶提供優質、快速的上門服務。我司在接到貴方的故障通知后,保證在 0.5 小時內做出響應,如有需要,確保12小時內到達客戶現場排除故障

4、我公司承諾在該設備的使用期間,可無償、無限期地提供該設備的技術支持工作。

5、我公司承諾提供免費軟件升級服務(如涉及)。

6、我司工程師長期免費為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協助。

7、我司有完善的配套耗材體系,客戶有新材料需要制樣時,免費為客戶提供合適的耗材進行測試。

8、由于我司和SGS、華測檢測、上海機械協會失效分析委員會、上海市電子學會SMT/MPT專委會、北京科技大學、蘇州大學等行業三方檢測機構和學術機構有深入合作,我方承諾為客戶失效分析實驗室提供長期免費咨詢服務和引薦服務。



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