1.產品概述：
KS-S150星型全自動涂膠顯影機是由沈陽芯源微電子設備股份有限公司研發的勻膠顯影設備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓，產品涉及多個應用域，涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。
2.應用領域：
傳感器芯片制造
光通信芯片制造
功率芯片制造
LED芯片制造
圖形化襯底制造
化合物半導體域
3.產品優勢：
1.占地小、穩定性高、操作與維護方便；
2.產能高，涂膠機產能大于190片/小時；
3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml；
4.優異的流場設計，涂膠均勻性好。
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