VTR-151M 日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備
參考價 | ¥ 8000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發科
- 型號 VTR-151M
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/30 14:55:10
- 訪問次數 116
聯系方式:葉櫻18075173399 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
---|
日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備
日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備
特征
它是絕緣體、金屬和半導體材料的濺射系統。
渦輪分子泵用于主泵送。
直徑為 2 英寸,3 個陰極可進行多次沉積。
磁控濺射可實現濺射速度 30nm/min (SiO2)。
它具有基板加熱系統(350°C)。
規范
型 | VTR-151M/SRF (SCOTT-C3) | |
真空性能 | 極限壓力 | 6,6×10-4帕 |
疏散時間 | 6,6×10-3帕/5分鐘 | |
真空室 | 真空室 | 金屬腔室 (直徑 310.5mm × 160mm (H)) |
陰極 | 直徑 2 英寸,3 路 | |
標準目標 | 直徑 2 英寸(直徑 50.8 毫米)× T1mm ×T1 毫米 | |
濺射有效面積 | 25 毫米 | |
濺射速度 | SiO2 SiO2,沉積時超過 30nm/min | |
膜厚分布 | SiO2 SiO2,直徑 25mm 時 ±10% 以內 | |
基板加熱溫度 | 最高 350°C | |
最高 350 攝氏度 | 50mm ~ 90mm (可變:半固定) | |
排氣系統 | 主泵 | 渦輪分子泵 250 L/sec |
液氮捕集阱 | ー | |
副泵 | 油旋轉泵200L/min | |
油霧捕集器 | 油霧捕集器 OMT-200A | |
作系統 | 主閥 | 蝶閥 |
副閥 | 三通閥 | |
自動泄漏閥 | 選擇 | |
控制 | 手動控制 | |
控制系統 | 射頻電源 | 最大 300W (0~300W 可變) |
皮拉尼真空計 | GP-1GRY 系列 | |
電離真空計 | 編號:ISG1/SH2-1 | |
設置 | 外部尺寸 | 1081 毫米(寬)×853 毫米(深)×1104 毫米(高) |
重量 | 400 公斤 |
效用
尺寸圖
