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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器>VTR-151M 日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備

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VTR-151M 日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備

參考價 8000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發科
  • 型號 VTR-151M
  • 產地
  • 廠商性質 經銷商
  • 更新時間 2025/6/30 14:55:10
  • 訪問次數 116

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湖南中崎科技有限公司位于湖南省會城市的長沙,公司坐落于湖南省長沙市岳麓區學士街道學豐路1008號迪亞溪谷山莊B310棟104,承蒙政府招商引資進駐且得力于長沙市岳麓區政府支持企業提升創新能力,支持企業開拓市場,鼓勵引導企業做優做強做大,湖南中崎科技有限公司成為了長沙市岳麓區受政府引進的日資企業

  湖南中崎科技有限公司專業從事國內及國際貿易業務,主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、實驗室設備、機械加工設備、環境試驗設備、PC周邊用品、作業工具用品、電源、化學用品、FA自動化等上萬種產品的銷售,其全球總部“株式會社タマサキ(京都玉崎株式會社)”,經過15年的市場耕耘,匯集1000多家國內外品牌廠商授權代理商和品牌原廠,提供4個大類、800余個品牌、超過10萬種產品,為客戶提供便捷、高效的工業用品采購服務。鏈接各個 品牌商和客戶,從產品、價格、物流、服務、數據等方面幫助上下游提升采購效率,直接降低成本!隨著半導體,汽車,人工智能和新能源行業中迅速崛起,符合各行業的嚴格質量和可靠性要求,本著貼近客戶提供及時快捷服務的銷售方針,現已在北京,蘇州,重慶,成都,江西,廣州,深圳分部設立了分公司。專注于智能光源和測試儀器和FA自動化設備領域綜合服務的銷售網絡,為客戶提供及時而專業的服務。

   目前已獲得NITTO KOHKICCS、SEN、EYE、USHIO、FUNATECH、HIKARIYA、SERIC、REVOX、ORIHARA、SONIC、YUASA、EYELA、SANKO、NEWKON、HEIDON、TAKASAGO、MITUTOYO、JIKCO、NPM、AND、ONOSOKKI、PISCO、TOPCON、NDK、STANLEY、MITUTOYO、HIOS、SATA、HAKKO、TOHNICHI等多家品牌授權認證。

   主要合作客戶有:關西涂料(ALESCO)、藍思科技(LENS)、中國中車(CRRC)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC), 京東方(BOE) ,華星光電(CSOT),天馬(TIANMA), 柔宇(ROYOLE) 豐田(TOYOTA), SUZUKI(鈴木),比亞迪(BYD),大疆(DJI);駿馬精密(ZAMA)等,憑借專業銷售代理的經驗,成熟的產品,贏得了廣大客戶的信任。    

   湖南中崎科技有限公司會恪守“誠信、品質、快速、貼心”的服務宗旨,不斷提升專業的技術服務水平,與客戶及供應商實現共同發展。通過減少中間環節,并提供便利的配送服務,將實惠和安心送到每一個客戶的手中。

 

 

 

 

光學設備,電子計測儀器,科學儀器,實驗室設備,機械加工設備,環境試驗設備

產地類別 進口 應用領域 環保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備

日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備


特征

它是絕緣體、金屬和半導體材料的濺射系統。

渦輪分子泵用于主泵送。

直徑為 2 英寸,3 個陰極可進行多次沉積。

磁控濺射可實現濺射速度 30nm/min (SiO2)。

它具有基板加熱系統(350°C)。

規范

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
真空性能極限壓力6,6×10-4帕
疏散時間6,6×10-3帕/5分鐘
真空室真空室金屬腔室 (直徑 310.5mm × 160mm (H))
陰極直徑 2 英寸,3 路
標準目標直徑 2 英寸(直徑 50.8 毫米)× T1mm ×T1 毫米
濺射有效面積25 毫米
濺射速度SiO2 SiO2,沉積時超過 30nm/min
膜厚分布SiO2 SiO2,直徑 25mm 時 ±10% 以內
基板加熱溫度最高 350°C
最高 350 攝氏度50mm ~ 90mm (可變:半固定)
排氣系統主泵渦輪分子泵 250 L/sec
液氮捕集阱
副泵油旋轉泵200L/min
油霧捕集器油霧捕集器 OMT-200A
作系統主閥蝶閥
副閥三通閥
自動泄漏閥選擇
控制手動控制
控制系統射頻電源最大 300W (0~300W 可變)
皮拉尼真空計GP-1GRY 系列
電離真空計編號:ISG1/SH2-1
設置外部尺寸1081 毫米(寬)×853 毫米(深)×1104 毫米(高)
重量400 公斤





效用

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
所需功率200V 單相 50/60Hz 3.5kVA
接地端子A 級(接地電阻/10Ω以下)
需水量2.0 L/min(水溫 : 25°C以下、水壓 : 200kPa(表壓))
連接(電源)乙烯基電纜(帶 R3.5-5 環形舌片端子)4m
連接(接地)接地線(帶 R5.5-8 環形舌片端子) 4m
連接(水管)Tetoron 編織軟管 (外徑 15mm × 內徑 9mm) 4m (2 列)






尺寸圖

日本ULVAC愛發科小型高頻濺射設備





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