ELEC-RZ 日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
參考價 | ¥ 3000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 ELEC-RZ
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/28 14:24:38
- 訪問次數(shù) 132
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
特征
磁流體密封用于真空密封,可使用高達 10-6Pa 的高真空。
執(zhí)行器的小型化使其更緊湊,更容易安裝在設(shè)備中。
根據(jù)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、手數(shù)等,有多種手臂可供選擇。
它使用具有出色作性的多功能顯示示教器。
規(guī)格
型 | 電 RZ | |
工作壓力區(qū)域 | 大氣壓~10-6Pa | |
晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | |
持有的晶圓數(shù)量 | 1 件/2 件 | |
最大范圍 * | 1050 毫米 | |
旋轉(zhuǎn)角度 | ±210° | |
提升行程 | 50 毫米 | |
最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 964mm 取決于安裝臂 | |
有效載荷能力(包括手) | 1 千克 | |
作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 2.5 秒 / 全行程 |
把 | 最大 3.0 秒 / 180° | |
提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | |
可重復(fù)的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 |
把 | ±0.1 毫米 | |
提升 | ±0.1 毫米 | |
示教器 | 附屬品 | |
控制器 | 分開 |
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