VPC-061 日本ULVAC愛發科小型蒸發設備
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發科
- 型號 VPC-061
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/30 13:52:57
- 訪問次數 88
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科小型蒸發設備
日本ULVAC愛發科小型蒸發設備
特征
桌面型和緊湊的尺寸使設置節省空間。
玻璃鐘罩很容易看到內部并且具有良好的控制力。
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
規范
型 | VPC-061 | |
真空性能 | 極限壓力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa(帶 LN 冷阱) |
疏散時間 | 4.0×10-3帕/20分鐘 1.3×10-3Pa/20min(帶LN冷阱) | |
真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 (直徑 150mm × 200mm(H)) |
饋通套環 | 3 個端口(第 3 側) | |
推薦基板尺寸(最大基板尺寸) ※1 | □25mm ? □50mm(最大) | |
電源系統 | 蒸發電極結構 | 1 積分 |
蒸發電極/電源 | SEREM PSE-150C?1 式 0~10V 150A(Max) | |
排氣系統 | 主泵 | 油擴散泵(風冷) 50L/sec |
液氮捕集阱 | 裝備 | |
前級泵 | 油旋轉泵 20L/min | |
油霧捕集器 | 選擇 | |
作系統 | 主閥 | 拍板閥 |
副閥 | 三通閥 | |
自動泄漏閥 | ー | |
控制 | 手動控制 | |
控制系統 | 皮拉尼真空計 | 選擇 |
電離真空計 | 選擇 | |
設置 | 外形尺寸 (本體) | 434 毫米(寬)×422 毫米(深)×673 毫米(高) |
電源 | 480 毫米(寬)×435.3 毫米(深)×149 毫米(高) | |
重量 Body | 28 公斤 | |
電源 | 40 公斤 |
※1:顯示最大板尺寸的值,不考慮薄膜厚度分布。
效用
型 | VPC-061 | |
所需功率 | 身體 | 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA |
電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
接地端子 | D 級(接地電阻 / 100Ω 以下) | |
連接 | 本體 1Φ 100V | Cabtyre 電纜(帶插頭) 2m |
電源 1Φ 200V | Cabtyre 電纜(帶 R2.0-5 環形舌片端子) 2m |