VPC-1100 日本ULVAC愛發科高速型真空沉積設備
參考價 | ¥ 8000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發科
- 型號 VPC-1100
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/30 14:42:07
- 訪問次數 159
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科高速型真空沉積設備
日本ULVAC愛發科高速型真空沉積設備
特征
通過玻璃鐘罩易于查看,易于維護。
真空室可以在不停止主泵的情況下打開。
由于增加了蒸發電源和電極,因此可以同時進行蒸發和多層蒸發(最多四層)。
它是帶腳輪的易于移動的真空泵系統。
安裝的安全性可以通過調節器來確保。
規范
型 | VPC-1100 系列 | |
規范 | 極限壓力 | 4.0×10-4 帕 1.3×10-4Pa(帶 LN 冷阱) |
疏散時間 | 4.0×10-3帕/10分鐘 10-4Pa臺/10min(帶LN冷阱) | |
真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 (直徑 390mm × 350mm(高)) |
饋通套環 | 20 個端口(側面 14 / 底部 6) | |
推薦基板尺寸(最大基板尺寸)※1 | □50mm ? □220mm(最大) | |
電源系統 | 蒸發電極結構 | 3 點 |
蒸發電極 / 電源 | SEREM “PSE-150C” 1 組 0~10V 150A(Max) | |
排氣系統 | 主泵※2 | 油擴散泵(水冷) 1100L/sec |
液氮捕集阱 | 選擇 | |
副泵 | 油旋轉泵200L/min、2 泵 | |
油霧捕集器 | 選擇 | |
作系統 | 主閥 | 蝶閥 |
副閥 | 三通閥 | |
自動泄漏閥 | 選擇 | |
控制 | 手動控制 | |
控制系統 | 皮拉尼真空計 | GP-1G 系列 |
電離真空計 | 選擇 | |
設置 | 外部尺寸 Body | 1235 毫米(寬)×836 毫米(深)×2155 毫米(高) |
電源 | 裝備 | |
重量 Body | 313 千克 | |
電源 | 裝備 |
※1:顯示最大板尺寸的值,不考慮薄膜厚度分布。
※2:可安排渦輪分子泵 (TMP) 的規格。
效用
型 | VPC-1100 系列 | |
所需功率 | 身體 | 200V 三相 50/60Hz 5.0kVA |
電源 | 100V 單相 50/60Hz 1.0kVA | |
接地端子 | D 級(接地電阻/100Ω 以下) | |
連接 | 本體 3Φ 200V | Cabtyre 電纜(帶 R3.5-4 環形舌片端子) 4m |
電源 1Φ 100V | 乙烯基電纜(帶插頭) 4m | |
需水量 | 1.5 L/min (水溫 : 20?25°C, 水壓 : 200kPa (表壓)) | |
連接(插座) | Rp1/4 (帶軟管接頭 “Kantouch”) | |
推薦房屋※ | Tetoron 編織軟管 (外徑 15mm×內徑 9mm) |
※請準備冷卻水配管。
尺寸圖
VPC-1100 系列
