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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法腐蝕/刻蝕設(shè)備> 全自動BOE刻蝕機(jī)

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全自動BOE刻蝕機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/22 15:02:10
  • 訪問次數(shù) 113

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芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

全自動BOE刻蝕機(jī)專為半導(dǎo)體硅片表面氧化層精準(zhǔn)腐蝕而設(shè)計(jì),基于BOE溶液對二氧化硅(SiO?)的高選擇性腐蝕特性,通過化學(xué)濕法工藝實(shí)現(xiàn)納米級可控加工。

全自動BOE刻蝕機(jī)其核心功能包括:

各向同性腐蝕:BOE溶液對SiO?的腐蝕速率遠(yuǎn)高于硅基底,可快速去除氧化層同時(shí)保持硅表面平整度。

精準(zhǔn)速率控制:通過溫度(±0.1℃)、濃度(±0.5%)及流體動力學(xué)的閉環(huán)調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)腐蝕速率誤差<±0.5nm/min。

多場景適配:支持TSV(硅通孔)、MEMS腔體釋放、功率器件背面減薄等工藝需求,兼容6-12英寸晶圓。

核心技術(shù)優(yōu)勢

精準(zhǔn)腐蝕控制系統(tǒng)

智能溫控模塊:采用PID恒溫技術(shù),腔體溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1℃,確保腐蝕速率均勻性。

動態(tài)化學(xué)配比:在線監(jiān)測BOE溶液濃度,實(shí)時(shí)補(bǔ)充反應(yīng)劑,避免因濃度波動導(dǎo)致的速率偏差。

流體仿真設(shè)計(jì):通過CFD(計(jì)算流體力學(xué))優(yōu)化噴淋路徑,實(shí)現(xiàn)晶圓表面腐蝕均勻性<±1.5%(6英寸晶圓)。

高效自動化生產(chǎn)

全封閉無塵對接:集成機(jī)械臂自動上料,支持FOUP(前開式晶圓盒)直接傳輸,避免人工接觸污染。

多工位并行處理:配備雙腔體交替作業(yè),單臺設(shè)備產(chǎn)能可達(dá)120片/小時(shí)(8英寸晶圓)。

干燥與檢測一體化:內(nèi)置低溫旋干模塊(<40℃)及光學(xué)檢測儀,實(shí)時(shí)反饋腐蝕厚度與表面缺陷。

環(huán)保與安全設(shè)計(jì)

廢液循環(huán)處理:BOE廢液經(jīng)三級過濾(離子交換+蒸餾)后回收率>85%,降低危廢成本。

安全防護(hù)系統(tǒng):配備泄漏檢測傳感器、緊急排風(fēng)裝置及化學(xué)品溢出防護(hù)機(jī)制,符合SEMI S8安全標(biāo)準(zhǔn)。




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