花籃片盒清洗機(jī)主要用于清洗附著在晶圓盒上的雜質(zhì)，如切削油、磨粒、鐵屑、塵埃、指紋等。其功能是提高產(chǎn)品的質(zhì)量，防止這些雜質(zhì)對(duì)晶圓盒造成污染，影響產(chǎn)品的性能。

該設(shè)備適用于當(dāng)前所有型號(hào)的花籃和片盒的清洗與干燥系統(tǒng)，包括傳輸片盒、前端開(kāi)口片盒（FOUP）等。

工作原理：

花籃片盒清洗機(jī)通過(guò)泵傳輸清洗液，利用不同噴嘴噴射清洗液，達(dá)到一定的清洗效果。

清洗液可以通過(guò)計(jì)量調(diào)整控制操作，軟件設(shè)置可由觸摸屏進(jìn)行控制操作。

設(shè)備可能采用旋轉(zhuǎn)噴淋技術(shù)，確保清洗液能夠均勻地覆蓋到花籃或片盒的每一個(gè)角落。

清洗完成后，設(shè)備會(huì)進(jìn)行烘干處理，以確保花籃或片盒干燥。

主要特點(diǎn)：

自動(dòng)化程度高：設(shè)備通常為全自動(dòng)設(shè)計(jì)，可以自動(dòng)完成上料、清洗、烘干和卸料等步驟。

適用范圍廣：適用于不同尺寸和規(guī)格的花籃與片盒，滿足客戶特殊需求。

高效清洗：采用清洗技術(shù)，如雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式，實(shí)現(xiàn)超微精密清洗。

智能控制：配備高精度的傳感器和控制系統(tǒng)，能夠精確控制清洗和干燥的時(shí)間和溫度，自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類(lèi)型，自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù)。

節(jié)能環(huán)保：部分設(shè)備采用節(jié)能設(shè)計(jì)，降低能耗。

具體應(yīng)用：

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，花籃片盒清洗機(jī)用于清洗存儲(chǔ)和運(yùn)輸晶圓的標(biāo)準(zhǔn)化容器（如FOUP），確保其在制造和運(yùn)輸過(guò)程中不受到污染。

也可用于清洗其他需要高度潔凈度的部件，如機(jī)械零部件、壓縮機(jī)零件、照相機(jī)零件、軸承、五金零件、模具等。