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ACA Master 托托科技科研版6英寸光刻面積無掩膜光刻機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 托托科技(蘇州)有限公司
  • 品牌 托托科技
  • 型號 ACA Master
  • 產地 江蘇蘇州
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/4/17 9:24:40
  • 訪問次數 297

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


托托科技是一家是專注于光學顯微加工及檢測的光學設備制造廠商。目前公司擁有五個核心產品線:

(A)無掩膜版光刻設備

(B)磁學產品

(C)多模態光電顯微鏡

(D)超高精度3D光刻產品

(E)3D顯微鏡

已經形成了集設計、研發、制造、銷售及客戶咨詢服務為一體的高科技企業,致力于給客戶提供技術支持,以技術和細致設計造就品質,以耐心服務和企業擔當贏得良好口碑。


公司旗下產品的品牌名稱為TuoTuo,擁有中國及新加坡兩個研發中心,其中托托科技(蘇州)是中國區業務的運營主體,TuoTuo Technology (Singapore) Pte.Ltd. 是國際業務的運營主體。




無掩膜版紫外光刻機,超高精度3D光刻產品,形貌表征產品,光電光譜分析產品,3D成像顯微物鏡,磁光電聯合分析

應用領域 電子/電池,航空航天,電氣,綜合

光刻機,亦稱為掩膜對準曝光機,是半導體芯片制造過程中至關重要的設備,主要負責將精心設計的集成電路圖案精確地轉移到硅晶圓上,從而制造出微小、精確且高效的集成電路。

光刻機的分類主要依據其曝光方式,可分為接觸式、接近式和直寫式三大類。直寫式光刻機進一步可以根據是否使用掩膜版分為有掩膜和無掩膜兩種類型。無掩膜光刻機,顧名思義,無需傳統掩膜版即可進行曝光,它直接在晶圓上繪制圖案,這不僅提高了生產速度,降低了成本,而且除了傳統的二維光刻,還能實現2.5維度的灰度光刻。無掩膜光刻機的靈活性高、無需掩膜版的特點,使其在科學研究、定制化生產、快速原型制造、電子器件、生物醫藥、光學元件、微機械等多個領域得到了廣泛應用。

托托科技推出的科研版無掩膜光刻機-Academic(ACA系列),托托科技科研版6英寸光刻面積無掩膜光刻機ACA Master,以其高靈活性、高精度和無掩膜的優勢,成為科學研究領域的理想選擇。

ACA系列無掩膜紫外光刻機采用空間光調制技術,實現了數字化的掩膜光刻,其靈活性是科研工作的一大亮點。設備配備了長壽命、高功率的紫外光源,確保了設備的穩定性和操作的簡便性。此外,其原位光繪和交互式套刻指引功能,大大簡化了光刻和套刻過程,提高了操作的精準度。ACA系列光刻機為科研人員提供了強大的工具,助力科學研究和技術創新的進步。

托托科技科研版6英寸光刻面積無掩膜光刻機ACA Master亮點:

- 特征尺寸可達0.4μm,確保了高精度的圖案繪制。

- 支持6英寸的光刻面積,滿足多種尺寸的晶圓加工需求。

- 具備掃描光刻與步進光刻的切換功能,適應不同的光刻工藝需求。

- 無需掩膜版,實現了更靈活、更高效的光刻作業。

托托科技科研版6英寸光刻面積無掩膜光刻機




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