1.產(chǎn)品概述：

Beneq Transform 300 是一個(gè)高度通用的制造平臺(tái)，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進(jìn)封裝和其他 MtM 應(yīng)用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高薄膜應(yīng)用，從柵電介質(zhì)到鈍化和/或封裝等。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

大的靈活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同時(shí)提供熱 ALD（批量）和等離子 ALD（單晶圓）技術(shù)的 300mm 原子層沉積 （ALD） 簇工具。

配置：找到適合您的設(shè)置。 Transform® 300 平臺(tái)旨在滿足廣泛的容量和應(yīng)用要求，包括先進(jìn)封裝、芯片封裝和磁帶晶圓應(yīng)用。

生產(chǎn)力：行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的頂水平。 該工具包括可維護(hù)性和可用的短 MTTCR。借助我們有的預(yù)熱模塊，您可以享受熱批量 ALD 的高吞吐量。

晶圓廠就緒：Beneq Transform® 300 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 標(biāo)準(zhǔn)。