WE3102系列 12英寸槽式清洗設備

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WE3102系列 12英寸槽式清洗設備北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

產地類別	國產	價格區間	面議
應用領域	綜合

1. 產品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗設備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

2. 設備用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗設備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩定性，超高的補水精度，精準的蝕刻速率控制，優秀的干燥效果。

3. 設備特點

晶圓尺寸 12 英寸，適用材料光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控擋片回收。適用域新興應用、集成電路。