| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 生物產業,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,電氣 |
結構特點
QFL3D系列是一款預負載結構的三軸氣浮運動臺，氣浮結構已證明是精密應用中的理想選擇，適用飛秒激光加工、微納制造等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是定位抖動，還是速度穩定性，QFL3D系列都是良好的解決方案。
定制化
根據用戶的應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如直接在XY軸上增加Z軸，平升Z軸或定制大理石基座、立柱及橫梁上側掛Z軸等。此外可提供激光觸發同步輸出信號。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。
潔凈室兼容性
氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容，高質量的無塵線纜管理也符合實驗室環境。
規格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。
4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
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