| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子/電池,航空航天,綜合 |
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結構特點
XY軸為非接觸式氣浮結構，精度高和外形尺寸小等特點，氣浮導軌間沒有機械接觸，免維護運行。Z軸為平升直驅結構，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，提升直線度性能，可選雙閉環反饋的方式，獲得高重復定位精度和定位精度。
精度性能
XY軸氣浮運動臺的定位精度±50nm，雙向重復定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.5μm。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可定制帶屏蔽高柔線纜，適合環境噪聲大的場合。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質氣浮導軌，直線度可達±50nm。
規格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，速度和加速度取決于負載大小。
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