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氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)介紹(三)

來源:北京瑞邦精控科技有限公司   2023年01月07日 16:10  

氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的精度指標(biāo):

直線臺(tái):定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,見下圖。


直線度:運(yùn)動(dòng)臺(tái)在水平方向移動(dòng)時(shí)于垂直水平軸線的左右方向偏差;

平面度:(又稱垂直于直線度)運(yùn)動(dòng)臺(tái)在水平方向移動(dòng)時(shí)于垂直于水平軸線上下方向的偏差;

Pitch:圍繞X方向的角度誤差;

Roll:圍繞Y軸方向的角度誤差;

Yaw:圍繞Z方向的角度誤差。


轉(zhuǎn)臺(tái):定位精度、重復(fù)定位精度、軸向跳動(dòng)、徑向跳動(dòng)及傾角誤差,見下圖。

軸向跳動(dòng):轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸同軸向發(fā)生的誤差;

徑向跳動(dòng):轉(zhuǎn)臺(tái)在軸向位置垂直于旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸發(fā)生的誤差;

傾角誤差:相對(duì)于轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸在角度方向上的誤差。



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