隨著機械制造技術的快速發展，信息技術、激光技術、計算機技術和微電子技術等的廣泛應用，機械加工、制造設備以及檢測儀器等的精度要求也逐漸提高。精度的高標準，形成了對機械設備性能的高要求，進而推動了精密檢測和加工設備的快速發展。

氣浮運動臺是檢測和加工設備的運動執行部分，作為實現精密定位和精確運動，保證系統技術指標的核心組件，在現代航空、計算機、電子制造等科學研究與*領域扮演著重要的角色，特別是在精密制造、光學檢測與集成電路的大規模生產等方面有著十分廣泛的應用川，故針對其在現代制造業中如此重要的實用價值，各工業制造強國都很重視精密和超精密運動工作臺的研究與發展。所以，在推動我國從“世界制造大國”轉變為“世界制造強國”的道路上，開展精密和超精密運動工作臺的研究具有長遠的意義。

傳統的氣浮運動臺多數采用旋轉電機與滾動絲杠相結合，將電機的旋轉運動經由絲杠轉變為與其相連的工作臺的直線運動。這種驅動方式的缺點很明顯，如系統傳動鏈較長、結構復雜、摩擦較大等。另外，其承載與導向元件一般采用滑動或滾動導軌，這兩類導軌在系統進行低速運動時會出現“爬行”現象，致使運動不穩定，影響系統精度。在精密與高精密測量與制造領域，如何解決上訴問題是提高工作臺性能的關鍵。直線電機驅動的精密運動工作臺應時而生，其消除了電動機到工作臺的傳動環節，實現了零傳動鏈的電機驅動方式。另外，根據部分輕載工作臺的應用要求，結合導軌的優劣性能，采用氣浮導軌與直線電機相結合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技術指標的實現變得更加容易，成為了在精密運動臺發展中的又一-突破。但是，結合國內外發展現狀，我國的氣浮運動臺技術遠遠落后于國外各工業大國，各種設備多靠進口，自主研發能力較弱，這種情況嚴重制約著我國的工業技術發展，所以，對氣浮運動臺的研究意義深遠。