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2022
08-26

關(guān)于納米壓痕儀的那些問題解答
納米壓痕儀是精確、靈活、易于使用的納米力學(xué)測試儀器。電磁驅(qū)動器具有很好的力和位移動態(tài)范圍，可以測量納米到毫米級的變形。應(yīng)用范圍包括：半導(dǎo)體、薄膜及MEM（晶圓應(yīng)用）、硬膜及DLC薄膜；復(fù)合材料，纖維，聚合物，金屬，陶瓷；生物材料與生物學(xué)。①納米壓痕設(shè)定，幾種模式有何不同？納米壓痕可分為靜態(tài)位移控制、靜載荷控制和連續(xù)剛度控制。連續(xù)剛度只能設(shè)定位移，而不能設(shè)定載荷，可得到彈性模量、硬度隨位移變化值。系統(tǒng)設(shè)定的時間是固定的，一般只有幾秒鐘。靜態(tài)位移控制模式，靜態(tài)負(fù)載控制模式，可設(shè)定至最大位移或最大載荷
2022
08-24

納米定位臺的工作條件
考慮到壓電納米定位系統(tǒng)將要運行的環(huán)境條件，對于獲得既定應(yīng)用的所需結(jié)果非常重要。這些條件包括：真空(HV，UHV等)磁場、溫度、濕氣、外部振動等。壓電納米位移臺可由各種材料制成，例如殷鋼，不銹鋼，鈦和鋁。每個都有優(yōu)點；但是，將壓電平臺的材料與外部系統(tǒng)的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結(jié)果通常很重要。鋁是常用的材料，因為它具有良好的密度/剛度比。這對于需要磁場的應(yīng)用也很好。Invar或SuperInvar之類的材料具有較低的熱系數(shù)，當(dāng)無法將溫度考慮因素隔離開時，它們可以提供穩(wěn)定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及
2022
08-22

納米機(jī)械手的幾個操作功能
納米機(jī)械手是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進(jìn)行物理交互，并且可以在各種顯微鏡內(nèi)進(jìn)行各種物理量測量的精密儀器。為了抓取空間中任意位置和方位的物體，需有6個自由度。自由度是機(jī)械手設(shè)計的關(guān)鍵參數(shù)。自由度越多，機(jī)械手的靈活性越大，通用性越廣，其結(jié)構(gòu)也越復(fù)雜。一般專用機(jī)械手有2～3個自由度。控制系統(tǒng)是通過對機(jī)械手每個自由度的電機(jī)的控制，來完成特定動作。①位置反饋：提供每個操作手XYZ精確得位置反饋，1納米運動定位分辨率。②保存/加載坐標(biāo)：保存和加載多個操作手得坐標(biāo)。③自動校準(zhǔn)：最大限度地提高定位性
2022
07-28

精密定位平臺特點
精密定位平臺也叫電動滑臺、精密定位滑臺。它有哪些特點呢？1.多工設(shè)計整合驅(qū)動用的滾珠螺桿及LM直線導(dǎo)軌，除提供精密直線運動，也能搭配多功能配件。在導(dǎo)入多用途之應(yīng)用設(shè)計時非常方便，也能達(dá)成高精密線性傳動之需求。2.體積小重量輕LM直線導(dǎo)軌軌道，亦用搭平臺結(jié)構(gòu)，大幅縮小安裝體積，并以有限元素法設(shè)計出最佳化結(jié)構(gòu)，得到最佳剛性與重量比例。低扭力與低慣量之平順定位運動，可減少能源耗用。由于基座主體絲桿、螺母及其支撐滑座形成四合一組合單元，的以在設(shè)計和安裝方面，為客戶大速度地節(jié)省工時和負(fù)擔(dān)。3.高精度與高剛
2022
06-24

納米操作機(jī)產(chǎn)品特性及應(yīng)用
納米操作機(jī)是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進(jìn)行物理交互(如測量、移載、搬運等)，并且可以在各種顯微鏡(光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB)內(nèi)進(jìn)行各種物理量測量(如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等)的精密儀器。該系統(tǒng)全部由Nators公司自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案。納米操作機(jī)特性：閉環(huán)運動控制，具有數(shù)十毫米運動行程和納米級運動分辨率低漂移，高重復(fù)定位精度結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺模塊化設(shè)計，可根據(jù)用戶需求提供定制化服務(wù)納米操作機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用：微納操作與微裝配半導(dǎo)體納

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