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2025
06-26從界面到整體:SEM納米壓痕儀在多層材料力學性能表征中的應用
多層材料在微電子、航空航天、生物醫學等領域廣泛應用,其力學性能的界面效應與整體協同性直接影響器件性能與可靠性。SEM納米壓痕儀通過結合高分辨率成像與納米級力學測試,為多層材料的界面結合強度、各層力學梯度及整體力學行為提供了精準表征手段。1.界面力學性能的精準表征多層材料的界面是力學性能薄弱環節,傳統方法難以直接測量界面強度。SEM納米壓痕儀通過以下技術突破實現界面表征:原位成像與力學測試同步:在納米壓痕過程中,SEM實時觀察壓痕形貌演變,結合載荷-位移曲線分析界面失效模式(如脫粘、裂紋擴展)。例2025
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