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Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡

來源:托托科技(蘇州)有限公司   2025年06月25日 16:56  

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡

在半導體制造、面板顯示以及光伏等工業領域,精準、高效的晶圓檢測至關重要。

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡基于蔡司光學,采用模塊化設計,通過電動位移臺和各功能模塊的協同配合,能自動完成晶圓級樣品的上下料,并在多個維度進行加工選擇和自動檢測。檢測完成后,只需一鍵,就能自動生成測試報告,確保整個工作流程的一致性溯源。

 

高效的工作模式Miracle Inspection系列的一大亮點。它提供多種電動選件,硬件與軟件算法配合,能在不同工作模式下高效實現大圖拼接、景深融合以及微區加工。這使得客戶能在極短時間內完成對樣品多個維度的檢測和加工。

 

景深融合技術讓檢測更加直觀。通過圖像處理算法,將不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像,清晰展現樣品的三維細節。搭AI算力模型,融合后的圖像可直接進行目標識別和分類,實現自動分析,提高檢測效率和準確性,減少人為誤差。

 

大圖拼接技術同樣出色。將多個相鄰視場的顯微圖像無縫拼接成高分辨率全景圖像,結合低倍導航圖與高倍率細節圖,消除視野盲區,實現從宏觀到微觀的多層級研究。拼接得到的大圖還能作為導航圖進行區域選擇,搭配激光缺陷標記模塊,可精確加工和激光修復視野外區域,提升工作效率。

 

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡提交鑰式晶圓檢查解決方案。集成符合人體工學的觀察目鏡、遠程控制手柄和強大操作軟件等配置,客戶無需自行開發或整合模塊,就能完成換樣、缺陷標記、數據分析到報告輸出的全流程任務,確保檢測結果標準化與可重復性,讓客戶聚焦業務決策。

 

實時測量功能為數據準確性保駕護航。搭配自動對焦模組,實時采集樣品多個維度的信息,進行特征線性尺寸、角度、圓直徑等基礎測量。基于嵌入式處理單元搭建模型環境,實現數據本地實時處理和模型訓練,生成符合客戶體系的檢測報告。

 

延續蔡司百年光學質量,整ICCS光學優勢,提供明場、暗場DIC、偏光以及熒光等多種觀察檢測方式,豐富的物鏡選項也能精準呈現材料紋理和結構細節。

 

智能快速的自動對焦功能,通過反射光源Z軸位移臺和高幀率觀測相機的協同,快速確定聚焦平面并保持追焦,為后續分析提供高質量輸入。智能高效的激光缺陷標記模塊,配備雙激光組合,實現精準檢測與物理標識結合,構建質檢閉環體系。

 

此外,顯微鏡還具備導航圖預覽、圖紙對比、準確定位等功能,操作人員能快速了解晶圓布局,精準識別差異并標記改善位置。同時,兼容第三方實現晶圓自動搬運。

 

在硬件配置上8吋晶XY/電動運動臺模組精度高,行程大Z軸運動臺配備電傳手輪和碼盤,微調精度出色;物鏡模組采用蔡司原裝,光源模組選擇多樣;晶圓放置模組兼容多尺寸晶圓;成像觀察模組適配多種相機和目鏡;遠程控制手柄操作便捷;還可兼容主動對焦模組、缺陷標記模組和晶圓搬運模組。


Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡,以其性能和全面的配置,為工業檢測領域帶來了一場智能革命,是您檢測工作的理想伙伴。

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