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無掩模光刻機 灰度光刻

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托托科技是一家是專注于光學顯微加工及檢測的光學設備制造廠商。目前公司擁有五個核心產品線:

(A)無掩膜光刻機

(B)磁學產品

(C)多模態光電顯微鏡

(D)超高精度3D打印

(E)3D顯微鏡

已經形成了集設計、研發、制造、銷售及客戶咨詢服務為一體的高科技企業,致力于給客戶提供技術支持,以專業技術和細致設計造就高品質,以耐心服務和企業擔當贏得良好口碑。

公司旗下產品的品牌名稱為TuoTuo,擁有中國及新加坡兩個研發中心,其中托托科技(蘇州)是中國區業務的運營主體,TuoTuoTechnology(Singapore) Pte.Ltd. 是國際業務的運營主體。




無掩膜版紫外光刻機,超高精度3D光刻產品,形貌表征產品,光電光譜分析產品,3D成像顯微物鏡,磁光電聯合分析

托托科技的無掩模光刻機 灰度光刻功能設備,巧妙地融合了激光直寫技術與DMD(數字微鏡器件)無掩模技術。這種結合使得設備能夠直接在材料表面進行高精度加工。其中,激光直寫技術通過精確控制激光束,直接在材料上刻畫所需圖案;而DMD無掩模技術則利用數字微鏡陣列來投影光束,實現大面積且高分辨率的圖案化加工。


托托科技無掩模光刻機的核心優勢之一在于其靈活的設計,擺脫了對掩模版的依賴。相比傳統的有掩模光刻工藝,這省去了制版所需的時間和金錢成本,極大地幫助用戶加速了想法的驗證過程。此外,該設備的加工精度可達400 nm,足以滿足大多數高精度加工需求。針對大尺寸樣品,它提供高達1200 mm2/min的加工速度,保障了生產效率。其加工幅面更是可達2平方米,足以應對超大幅面的加工任務。特別值得一提的是其高達4096階的灰度光刻能力,這使得設備能夠精準地在光刻材料上構建出具有高度復雜且細膩層次變化的微觀結構或圖案,為微納制造領域帶來了工藝精度與設計自由度的雙重提升。


除了上述核心功能,托托科技的無掩模光刻機 灰度光刻功能設備還配備了多項特色功能。“直接繪圖”功能為用戶提供了靈活便捷的操作手段,便于快速驗證設計構想;“精準套刻”功能利用綠光作為指引,為光刻前的對準預覽提供保障,從而實現高精度的套刻;“陣列光刻”功能則幫助用戶快速確認工藝參數,節約寶貴時間;而“主動對焦”功能則確保每次光刻都能保持聚焦清晰,為光刻前的實時對準提供了穩定的基礎。



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