托托科技的無掩模光刻機 灰度光刻功能設備，巧妙地融合了激光直寫技術與DMD（數(shù)字微鏡器件）無掩模技術。這種結合使得設備能夠直接在材料表面進行高精度加工。其中，激光直寫技術通過精確控制激光束，直接在材料上刻畫所需圖案；而DMD無掩模技術則利用數(shù)字微鏡陣列來投影光束，實現(xiàn)大面積且高分辨率的圖案化加工。

托托科技無掩模光刻機的核心優(yōu)勢之一在于其靈活的設計，擺脫了對掩模版的依賴。相比傳統(tǒng)的有掩模光刻工藝，這省去了制版所需的時間和金錢成本，極大地幫助用戶加速了想法的驗證過程。此外，該設備的加工精度可達400 nm，足以滿足大多數(shù)高精度加工需求。針對大尺寸樣品，它提供高達1200 mm2/min的加工速度，保障了生產效率。其加工幅面更是可達2平方米，足以應對超大幅面的加工任務。特別值得一提的是其高達4096階的灰度光刻能力，這使得設備能夠精準地在光刻材料上構建出具有高度復雜且細膩層次變化的微觀結構或圖案，為微納制造領域帶來了工藝精度與設計自由度的雙重提升。

除了上述核心功能，托托科技的無掩模光刻機 灰度光刻功能設備還配備了多項特色功能。“直接繪圖”功能為用戶提供了靈活便捷的操作手段，便于快速驗證設計構想；“精準套刻”功能利用綠光作為指引，為光刻前的對準預覽提供保障，從而實現(xiàn)高精度的套刻；“陣列光刻”功能則幫助用戶快速確認工藝參數(shù)，節(jié)約寶貴時間；而“主動對焦”功能則確保每次光刻都能保持聚焦清晰，為光刻前的實時對準提供了穩(wěn)定的基礎。