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真空快速退火爐有低真空型號(hào)(10-3hPa)、高真空型號(hào)(10-6hPa)；可存儲(chǔ)50個(gè)程序，每個(gè)程序最多分為50段控制；全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空度、循環(huán)水均可自動(dòng)設(shè)置。
應(yīng)用領(lǐng)域：
離子注入/接觸退火；
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；
SiAu, SiAl, SiMo合金化；
低介電材料；
晶體化，致密化；
太陽(yáng)能電池片鍵合。
硬件更換：
1.加熱燈管更換：加熱燈管超過(guò)使用壽命或無(wú)法點(diǎn)亮?xí)r需進(jìn)行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時(shí)，高溫狀態(tài)下會(huì)降低其使用壽命。
2.真空泵油更換：在使用過(guò)程中，請(qǐng)每季度固定觀察1次真空油表，當(dāng)油表顯示油量低于1/3時(shí)請(qǐng)?zhí)砑诱婵毡脻?rùn)滑油到油表一半以上。
3.熱電偶更換：當(dāng)熱電偶測(cè)溫不正常或者損壞時(shí)需進(jìn)行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個(gè)月，隨環(huán)境因素降低其壽命。
4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無(wú)法氣密時(shí)需進(jìn)行更換，其壽命受外力以及溫度因素影響。
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