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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
省電設計，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
各種通信規格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
渦輪分子泵是一種高真空泵，通過高速旋轉的渦輪葉片將氣體分子從進氣口定向抽向排氣口，通常與前級泵（如旋片泵）聯用，實現10?11~10?1 Pa（超高真空至中真空）的壓力范圍。其特點是無油污染、抽速快，廣泛應用于半導體、科研、鍍膜等領域。
結構與工作原理
（1）核心組件
轉子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉速約20,000~90,000 RPM）。
定子葉片：與轉子交錯排列，形成氣體通道。
電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）。
排氣口：連接前級泵（如旋片泵），排出壓縮后的氣體。
（2）工作原理
動量傳遞：高速旋轉的葉片撞擊氣體分子，使其向下級運動（分子流態下有效）。
壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮，最終由前級泵排至大氣。
工作壓力范圍：依賴分子流狀態（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）。
?? 注：渦輪分子泵在**分子流態（壓力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）。
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