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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們特創的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
各種通信規格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
用于反應產物的 TG-MI 系列渦輪分子泵的特點
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們特創的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
傳統的方法是加熱整個周圍區域
，包括反應產物的目標部分
對策，并分散熱量。
?無法有效使用。
?對目標區域以外的區域的熱效應
TG-MI系列采取的措施
除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內部產生的吸入氣體的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度
，減少外部加熱器的輸出功率，提高節能效果！
?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。
?排氣管也采用隔熱材料。 保持最佳溫度并防止產品在排氣管中形成。
結構與工作原理
（1）核心組件
轉子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉速約20,000~90,000 RPM）。
定子葉片：與轉子交錯排列，形成氣體通道。
電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）。
排氣口：連接前級泵（如旋片泵），排出壓縮后的氣體。
（2）工作原理
動量傳遞：高速旋轉的葉片撞擊氣體分子，使其向下級運動（分子流態下有效）。
壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮，最終由前級泵排至大氣。
工作壓力范圍：依賴分子流狀態（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）。
?? 注：渦輪分子泵在**分子流態（壓力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）。
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