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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
半導體制造
電子槍排氣、離子源排氣
FPD 制造
表面處理、表面改性
各種電子元件的制造
分析和測試設備
管材制造、光學元件制造
加速器、輻射設施、聚變研究
熱處理
研發
它可以從各個方向直接安裝在
設備上，具有靈活的安裝姿勢。 管道設計簡單，可實現高效排氣。
耐振動性和耐加速性耐
振動性，即使在泵運行時也可以移動。 我們有良好的記錄，即使在我們過去經歷過的最大地震中也能重新啟動。 它也可以安裝在運動部件上，例如排氣車和腔室門。
通過簡化緊湊的尺寸結構，
可以實現小型化和輕量化。
快速啟動
更快，待機時間更短。
抗大氣進入的結構由于
它可以承受突然的壓力上升，因此對于因泄漏而快速停止、頻繁啟動和停止以及反復進入大氣也很有效。
可長期使用：
適當檢修后可長期使用。 * 泵的設計壽命為 100,000 小時或更長時間
它
配備了一個符合 RS232C 標準的串行接口，能夠作為標準進行串行通信。
符合安全標準的 NRTL/SEMI-S2/CE
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