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SOPHI-200/260日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
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  • SOPHI-200/260 產(chǎn)品型號
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  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):365更新時間:2024-11-25 14:47:43

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日本ULVAC愛發(fā)科SOPHI-200/260半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
產(chǎn)品介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)


中電流離子注入機(jī)SOPHI-200/260

中電流離子注入機(jī)SOPHI-200/260是一款配備技術(shù)的8、6和5英寸離子注入機(jī)。我們正在接受抽樣。


特征

  • 配備技術(shù)的平行束離子注入機(jī)。
    價格低,運(yùn)行成本低,
    小型、輕量、
    超薄晶圓可直接轉(zhuǎn)移。

目的

  • 半導(dǎo)體、電子元件

  • 功率器件薄基板工藝、SiC工藝

  • 研發(fā)

規(guī)格

物品索菲-200SOPHI-260
能量范圍3~200keV3~260keV
光束平行度0.2°以下
均勻性0.5%以下








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