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MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
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| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 452213203243 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | 53-S30-64 |
| P/N | 452213203243 | 頻率 | 63.87MHz |
| 輸出功率 | 18KW | 設備狀態 | Refurbished |
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩定輸出能力的優秀射頻發生器，在實機驗證中體現出了優秀的工藝穩定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優秀表現。RD5060Z射頻電源具有優秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質量好的優點，在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 參數規格
設備品牌：MKS
設備型號：53-S30-64
AC 電源輸入：3 phase~ ，380/400 VAC ±10%，16A，50/60Hz
RF 射頻輸出：63.87MHz，18KW Pulsed，540Watts，50Ω
通訊接口：Remote，RS-232C
設備散熱：風冷散熱
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