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MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源是在半導體產線沉積和蝕刻室清潔工藝中的發揮關鍵作用的子組件，可以消除工藝副產物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命...

MKS 遠程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關鍵子組件，消除了工藝副產物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污...

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是穩定可靠的高性能高頻射頻電源，廣泛運用于Etch、CVD、PVD濺射等...

MKS 射頻網絡匹配器 PLASMART Path Finder 100MHz 5000W RF Match 是一款經過長期驗證的具有優良可靠性的射頻阻抗網絡匹...

ENI 射頻網絡匹配器 MWD-55LD RF Match 是經過長期驗證的具有優良性能和可靠性的射頻阻抗網絡匹配器，廣泛運用于半導體行業中。

MKS 微波電源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器是一種*的微波匹配單元，它利用相位幅度檢測硬件和*的預測調諧算法來提供快速、可靠和可重復的匹配。

MKS 遠程等離子體源 Paragon F* 8SLM RPS 是用于清潔應用的智能遠程等離子體源，為了清潔CVD和ALD/ALE腔室，Paragon遠程等離子...

MKS 遠程等離子體源 Paragon 8SML RPS是用于清潔應用的智能遠程等離子體源，為了清潔CVD和ALD/ALE腔室，Paragon遠程等離子體源有高...

MKS（ENI）高性能射頻電源，ENI 射頻電源 GHW-70 13.56MHz 7000W 提供經過現場驗證的可靠性、優秀的穩定性和良好的可重復性，以實現高正...

MKS（ENI）高性能射頻電源，射頻電源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 提供經過現場驗證的可靠性、優秀的穩定性和良好的可重復性，以實現高...

ENI GHW-50 高性能射頻電源 13.56MHz 5KW 提供經過現場驗證的可靠性、優秀的穩定性和良好的可重復性，以實現高正常運行時間和工藝良率。

MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射頻電源提供經過現場驗證的可靠性、優秀的穩定性和良好的可重復性，以實現高正常運行時...

MKS 射頻電源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 高性能射頻發生器可以提供經過現場驗證的可靠性、優秀的穩定性和良好的可重復性，以實現高正常...

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，實現高輸出和高濃度水平。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是主要設計用于全集成臭氧輸送子系統，該系統是一個*集成的臭氧發生器，具有內部臭氧監...

MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 利用優秀的射頻電子設計和數據采集電子技術，提供了大多數應用程序所需的性能水平。

MKS RGA 殘余氣體分析儀 HPQ2 允許操作高達0.001托，而不需要差速泵送，由此產生的系統更簡單，安裝要求更低，以更低的成本提供更高的可靠性。

MKS 直流電源 DCG-100A OPTIMA 10KW 是久經機臺測驗的具有高可靠性和優良性能的直流電源。

MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是久經機臺測驗的具有高可靠性和優良性能的直流電源。

MKS（ENI）射頻電源 ACG-5 13.56MHz 500W 提供一套緊湊、輕量級的射頻產品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調諧、快速瞬態恢復和脈沖。