AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經過長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠實現對射頻輸出的精準控制，在半導體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優良表現。AE RFG 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性和射頻控制能力，能夠實現對射頻輸出的精準控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用，能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 3001                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ ，~208V/PE，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W，387V~

通訊接口：Control，CEX

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa