AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W RF Generator 是經過長期現場驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻發生器。AE VHF系列射頻發生器是甚高頻射頻電源，能夠對射頻輸出實現精準控制，具有優良的成膜能力，廣泛應用在半導體制程薄膜工藝中，該系列射頻電源成膜速度快，質量好，能夠提高成膜效率，在一定程度上可以提升產線效率和產品良率。該型電源設備整體采用緊湊外形設計，堅固耐用，小巧便捷，機臺空間占用小。

AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：VHF 2760                                                                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ / PE，~208V，20A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，2700W

通訊接口：Host，User，CEX In/Out，Remote

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：Max進水水壓 4.9bars，Max Torque All Fittings 10ft-lbs/15N·m，3/8"NPT