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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> ADTEC TR-3000-EI2-MTADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
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| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | RF GENERATOR | 品牌 | ADTEC |
| 型號 | TR-3000-EI2-MT | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurblished |
ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 3000W RF Generator 是經過長期驗證的性能優良、可靠性高的射頻發生器。電源整體采用了小巧緊湊的外形設計，減少了在機臺中的空間占用，大大降低了使用成本。ADTEC TR Series 射頻電源在半導體的濺射、CVD、蝕刻等制程中，有著十分廣泛的應用。高性能的TR系列射頻電源在半導體薄膜工藝的應用中射頻輸出控制精準，穩定可靠，有較快的成膜速度，可以有效的提高產線的效率，同時降低能源損耗，提高能源效益。
ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 參數規格
設備品牌：ADTEC
設備型號：TR-3000-EI2-MT
AC電源輸入：3 phase~ ，AC200~240V，50/60Hz，5.3kVA
RF射頻輸出：3000W，13.56MHz
通訊接口：Remote Control，RS-485，EXT-In/Out
設備散熱：水冷散熱
水冷流速：4.0L/min（1.05gal/min）
水冷水壓：0.5MPa（MAX）
水冷水溫：10℃~35℃
Fitting：NPT 1/4（Female）
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