DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FRM-30A14 RF Match 是經(jīng)過長期實機驗證的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，匹配效率高，速度快，能夠高效地降低反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。該系列阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器響應速度快，控制精度高，能夠?qū)Φ入x子工藝經(jīng)行高性能，高可靠性和精確控制，能夠?qū)Ψ瓷涔β蔬M行快速偵測并實施精準控制。整體采用緊湊設(shè)計，輕便靈活，空間占用小，可實現(xiàn)優(yōu)良工序間的可重復性工作。

DAIHEN 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 FRM-30A14 RF Match 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號：FRM-30A14

DC Input：24V，5A

RF 輸入頻率：40.68MHz / 12.88MHz

輸出功率：3000W

通訊接口：DeviceNet，Debug，Pulse 1/2

設(shè)備散熱：風冷散熱

設(shè)備重量：25kg