KYOSAN 射頻電源 JFK85TH-TC6 RF Generator 是經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源。KYOSAN JFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。該款射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中得到廣泛應(yīng)用，較快的成膜速度能夠在一定程度上提高產(chǎn)線效率。

KYOSAN 射頻電源 JFK85TH-TC6 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：KYOSAN

設(shè)備型號(hào)：JFK85TH-TC6

AC Input：3 phase~，200~208V，50A，50/60Hz

RF Output：8500W，3.2MHz

通信接口：DEBUG，Analog I/F，Device Net

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN進(jìn)水流量 5.5L/min

設(shè)備重量：50kg