AE 高頻射頻電源 CESAR 2730 RF Generator 采用了成熟可靠的Cesar平臺，可以提供穩定的射頻功率，能夠承受等離子體工藝中苛刻的工藝條件。該平臺可熟練地處理高負載失配情況，在額定反射功率下仍能保持*正常工作。Cesar射頻發生器具有高度直觀地操作菜單，可從大尺寸前面板LCD上操作，能夠提高使用效率并降低使用成本。

AE 高頻射頻電源 CESAR 2730 RF Generator 參數規格

品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：CESAR 2730

AC Input：200V~，3 phase~+PE，50/60Hz，20.0A

RF Output：3000W，~615V，27.12MHz

通訊接口：CEX，RS-232C，Analog，ETHERNET，Profibus，Active Front Panel

設備散熱：水冷+風冷散熱

水冷水溫：20℃~30℃

AE CESAR 2730 RF Generator 優點

1.采用了非常可靠地設計和優質部件，延長工藝正常運行時間

2.無需自定義裝置研制周期

3.簡化運行和提高靈活性

AE CESAR 2730 RF Generator 特點

1.緊湊的流線型設計和標準平臺分裝，易于更換

2.效率高，產生的熱量少

3.LCD前面板配置便捷的綜合操作菜單

4.CEX（相位同步）操作模式