MKS 射頻電源 EDGE30R40A 400KHz 2500W RF Generator 是一款性能穩(wěn)定可靠性高的射頻電源，廣泛應用于半導體制程中，整體采用了緊湊設計，小巧緊湊，能夠有效的降低客戶的使用成本。MKS EDGE Series 射頻電源是專為薄膜加工設備設計的可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計算機和電子設備所需的集成電路或芯片的半導體制程的重要部件，具有優(yōu)秀的成膜能力，能夠快速成膜，對射頻輸出進行精密控制，提高產線效率。

MKS 射頻電源 EDGE30R40A 400KHz 2500W 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：MKS                                                                                                                                                    

設備型號：EDGE30R40A                                                                                                            

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，50/60Hz，15A

RF 射頻輸出：2500W，400KHz

通信接口：AUX，CEX，RS-232C，ETHERNET，GIGABIT

設備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MIN水流流量1Gal/min，MAX水流壓力 80PSI

設備重量：13kg，29lbs