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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> DAIHEN AGA-50B2DAIHEN 高頻射頻電源 AGA-50B2
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 3D80-000601-14 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | AGA-50B2 |
| PN | 3D80-000601-14 | 頻率 | 60MHz |
| 輸出功率 | 5000W | 設備狀態 | Refurbished |
DAIHEN 高頻射頻電源 AGA-50B2 RF Generator 是一款經過長期驗證的具有優秀輸出性能和可靠性的高頻射頻發生器，能夠在半導體制程中實現等離子體工藝優秀的再現性、穩定性和可控性。DAIHEN AGA系列射頻電源能夠對等離子工藝進行高性能，高可靠性和精確控制。
DAIHEN 高頻射頻電源 AGA-50B2 規格參數
設備品牌：DAIHEN
設備型號：AGA-50B2
AC 電源輸入：200V~，55A，50/60Hz
RF 射頻輸出：60MHz，5000W
脈沖頻率：1Hz~50KHz
頻率穩定度：±0.01%以內
散熱：水冷+風冷
水冷進水需求：Torque 30N·m（Max），水壓 6.9KPa（Max）
設備尺寸：430 * 600 * 225 mm
設備重量：70kg
DAIHEN AGA-50B2 RF Generator 特點
1.精度高，整個輸出范圍內輸出功率穩定
2.通過嚴格的設計和可靠性測試，實現了高可靠性和經過現場驗證的耐久性
3.通過高速數字控制實現穩定的輸出和保護功能
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