KYOSAN 高壓直流電源 HPK6R3ZI DC Power Supply 是經過長期現場驗證的具有優秀工藝穩定性和控制能力的高壓直流電源，廣泛用作半導體制造裝置、平板顯示器、太陽能面板等制造工藝的直流電源，并且支持無弧反應濺射。

KYOSAN HPK Series 設備特點

1.配備了CPU的數值控制與通信功能，同時操作非常簡單

2.可以在DC電壓的廣泛范圍內供應額定電力，適用于高速電弧阻斷功能必*光學膜（SiO2,TiOx）、耐磨損膜（SiOx,Al2O3）以及透明傳導膜（ITO）的成膜工藝

3.支持與RF系統之間的耦合功能

KYOSAN 高壓直流電源 HPK6R3ZI DC Power Supply 技術參數

型號：HPK6R3ZI-TE8-PULSE-B

AC 電源輸入：200 ~ 220V，3 phase ~，50/60Hz，20A

DC 電源輸出：1200V，4A

散熱方式：風冷散熱                                                                                                                                                  

設備重量：50kg

通信接口：DeviceNet、DIO、Debug